Standards
[CURRENT]
BS EN 62047-2
BS EN 62047-2
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Tensile testing method of thin film materials
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Pruefverfahren zur Zugbeanspruchung bei Duennschicht-Werkstoffen