Standards
[CURRENT]
NF C96-050-3
; NF EN 62047-3:2006-11-01
NF C96-050-3
; NF EN 62047-3:2006-11-01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: thin film standard test piece for tensile testing
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung