Standards
[CURRENT]
NF C96-050-2
; NF EN 62047-2:2006-11-01
NF C96-050-2
; NF EN 62047-2:2006-11-01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: tensile testing methods of thin film materials
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen