Technical rule
[Withdrawn]
PAS 1022
PAS 1022
Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry
Title (German)
Referenzverfahren zur Bestimmung von optischen und dielektrischen Materialeigenschaften sowie der Schichtdicke dünner Schichten mittels Ellipsometrie
Procedure
PAS