Technical rule
[CURRENT]
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1
Optical measurement and microtopographies - Calibration of interference microscopes and depth measurement standards for roughness measurement
Title (German)
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung