Standards
[CURRENT]
DIN 50451-8
DIN 50451-8
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 8: Determination of 33 elements in high-purity sulfuric acid by ICP-MS
Title (German)
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 8: Bestimmung von 33 Elementen in hochreiner Schwefelsäure mittels ICP-MS
Responsible national committee
NA 062-02-21 AA - Testing of process materials for semiconductor technology