Technical rule
[CURRENT]
VDI/VDE 2656 Blatt 1
VDI/VDE 2656 Blatt 1
Determination of geometrical quantities by using of scanning probe microscopes - Calibration of measurement systems
Title (German)
Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen