Standards
[CURRENT]
NF X44-101-15
; NF EN ISO 14644-15:2018-02-03
NF X44-101-15
; NF EN ISO 14644-15:2018-02-03
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
Title (German)
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 15: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten und Materialien anhand der chemischen Luft- und Oberflächenkonzentration