Standards
[CURRENT]
NF C96-050-1
; NF EN 62047-1:2016-11-05
NF C96-050-1
; NF EN 62047-1:2016-11-05
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: terms and definitions
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe