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SN EN 62047-15
SN EN 62047-15
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 15: Prüfverfahren zur Bondqualität zwischen PDMS und Glas