Standards
[CURRENT]
NF C96-050-17
; NF EN 62047-17:2015-11-14
NF C96-050-17
; NF EN 62047-17:2015-11-14
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten