Standards
[CURRENT]
OEVE/OENORM EN 62047-20
OEVE/OENORM EN 62047-20
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 20: Gyroscopes (IEC 62047-20:2014) (german version)
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 20: Gyroskope (IEC 62047-20:2014) (deutsche Fassung)