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NF C96-050-22
; NF EN 62047-22:2014-12-26
NF C96-050-22
; NF EN 62047-22:2014-12-26
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 22: Elektromechanisches Zug-Prüfverfahren für leitfähige Dünnschicten auf flexiblen Substraten