Standards
[Withdrawn]
ISO 11952
ISO 11952
Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
Title (German)
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondennmikroskopie - Bestimung geometrischer Kenngrößen mit Rastersondenmikroskopie: Kalibrierung von Messystemen
Responsible national committee
NA 062-08-16 AA - Surface chemical analysis and scanning probe microscopy