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[CURRENT]
SN EN 62047-18
SN EN 62047-18
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtwerkstoffe