Standards
[CURRENT]
BS EN ISO 25178-603
BS EN ISO 25178-603
Geometrical product specifications (GPS). Surface texture: Areal. Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
Title (German)
Geometrische Produktspezifikation (GPS). Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft. Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie)