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[CURRENT]
BS EN 62047-11
BS EN 62047-11
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
Title (German)
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für freistehende Werkstoffe der Mikrosystemtechnik