Standards
[CURRENT]
ISO 25178-604
ISO 25178-604
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
Title (German)
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 604: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (Weißlicht-Interferometrie)