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SN EN 62047-14
SN EN 62047-14
Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe