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NF C96-050-13
; NF EN 62047-13:2012-12-01
NF C96-050-13
; NF EN 62047-13:2012-12-01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strenght for MEMS structures
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit bei MEMS-Strukturen