Standards
[CURRENT]
NF C96-050-5
; NF EN 62047-5:2012-05-01
NF C96-050-5
; NF EN 62047-5:2012-05-01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter