Standards
[CURRENT]
OEVE/OENORM EN 62047-5
OEVE/OENORM EN 62047-5
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches (IEC 62047-5:2011) (german version)
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter (IEC 62047-5:2011) (deutsche Fassung)