Standards
[CURRENT]
NF C96-050-8
; NF EN 62047-8:2011-10-01
NF C96-050-8
; NF EN 62047-8:2011-10-01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: strip bending test method for tensile property measurement of thin films
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten