Standards
[CURRENT]
NF C96-050-4
; NF EN 62047-4:2011-09-01
NF C96-050-4
; NF EN 62047-4:2011-09-01
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: generic specifications for MEMS
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik