Standards
[CURRENT]
OEVE/OENORM EN 62047-4
OEVE/OENORM EN 62047-4
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008)
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik (IEC 62047-4:2008)