Standards
[CURRENT]
BS EN 62047-6
BS EN 62047-6
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Axial fatigue testing methods of thin film materials
Title (German)
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen