Technical rule
[CURRENT]
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2
Optical measurement of microtopography - Calibration of confocal microscopes and depth setting standards for roughness measurement
Title (German)
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung