Standards
[CURRENT]
SN EN 62047-2
SN EN 62047-2
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices. Part 2: Tensile testing methods of thin film materials
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik. Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen