Standards
[CURRENT]
SN EN 62047-3
SN EN 62047-3
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices. Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik. Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung