Standards
[CURRENT]
OEVE/OENORM EN 62374
OEVE/OENORM EN 62374
Semiconductor devices - Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) test for gate dielectric films (IEC 62374:2007)
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Prüfung des zeitabhängigen dielektrischen Durchbruchs (TDDB) für dielektrische Gate-Schichten (IEC 62374:2007)