Standards
[CURRENT]
NF C96-017
; NF EN 62374:2008-01-01
NF C96-017
; NF EN 62374:2008-01-01
Semiconductor devices - Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) test for gate dielectric films
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Prüfung des zeitabhängigen dielektrischen Durchbruchs (TDDB) für dielektrische Gate-Schichten