Technical rule
[CURRENT]
ISO/TR 22335
ISO/TR 22335
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
Title (German)
Chemische Analytik an Oberflächen - Tiefenprofilanalyse - Messung der Ionenstrahlzerstäubungs-Geschwindigkeit mittels der Gitter-Kopiermethode mit dem mechanischen Stylus Profilometer
Responsible national committee
NA 062-08-16 AA - Surface chemical analysis and scanning probe microscopy