NA 062
DIN Standards Committee Materials Testing
Standards
[CURRENT]
DIN EN ISO 14644-15
DIN EN ISO 14644-15
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017); German version EN ISO 14644-15:2017
Title (German)
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 15: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Ausrüstungsgegenständen und Materialien anhand der chemischen Luft- und Oberflächenkonzentration (ISO 14644-15:2017); Deutsche Fassung EN ISO 14644-15:2017
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Responsible national committee
NA 041-02-21 AA - Cleanroom technology (Mirror committee CEN/TC 243 and ISO/TC 209)