NA 062
DIN Standards Committee Materials Testing
Standards
[CURRENT]
DIN 50450-2
DIN 50450-2
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N₂, Ar, He, Ne and H₂ by using a galvanic cell
Title (German)
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle