NA 152
DIN Standards Committee Technical Fundamentals
Draft standard
ISO/DIS 25178-603
ISO/DIS 25178-603
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Design and characteristics of non-contact (phase shifting interferometry) instruments
Title (German)
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie)