NA 027
DIN Standards Committee Optics and Precision Mechanics
Standards
[CURRENT]
DIN 58557-1
DIN 58557-1
Production equipment for microsystems - Method for measuring the shape of microlens arrays - Part 1: Single sided measurement of a microlens array
Title (German)
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Verfahren zur Messung der Gestalt von Mikrolinsenarrays - Teil 1: Einseitige Messung eines Mikrolinsenarrays