NA 027
DIN Standards Committee Optics and Precision Mechanics
Standards
[CURRENT]
ISO 25178-603
ISO 25178-603
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
Title (German)
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie)