NA 027
DIN Standards Committee Optics and Precision Mechanics
Standards
[CURRENT]
DIN 32566
DIN 32566
Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring
Title (German)
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie