NA 054

DIN Standards Committee Plastics

Technical rule [CURRENT]

VDI 2083 Blatt 13.2
Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Microelectronics and other technical applications

Title (German)

Reinraumtechnik - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen

Edition 2009-01
Original language German , English
Price from 123.60 €
Table of contents