NA 022
DKE German Commission for Electrical, Electronic & Information Technologies of DIN and VDE
Standards
[CURRENT]
IEC 62047-4
IEC 62047-4
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specifications for MEMS
Title (German)
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik