Kurzreferat

Dieses Dokument legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 μm bis gleich oder größer als 5 μm (in ISO 14644-1 angegeben). ANMERKUNG Sofern die zuständigen Behörden ergänzende Richtlinien oder Einschränkungen vorgeben, können geeignete Anpassungen der Methodik zur Bewertung erforderlich sein. Die folgenden Aspekte sind nicht durch dieses Dokument abgedeckt: — Bewertung der Tauglichkeit in Bezug auf die Biokontamination; — Prüfung zur Tauglichkeit von Dekontaminationsmitteln und -techniken; — Reinigungsfähigkeit der Geräte und Materialien; — Anforderungen an die konstruktive Auslegung von Geräten und die Auswahl von Materialien; — physikalische Materialeigenschaften (z. B. elektrostatische, thermische Eigenschaften); — Optimierung der Geräteleistung für spezifische Prozessanwendungen; — Auswahl und Anwendung statistischer Verfahren für die Prüfung; — Protokolle und Anforderungen hinsichtlich regionaler Sicherheitsvorschriften.

Beginn

2025-03-24

WI

00243045

Geplante Dokumentnummer

DIN EN ISO 14644-14 rev

Projektnummer

04112228

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 209 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche