Projekt
Future IEC 62047-21: Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
Beginn
2011-07-29
Geplante Dokumentnummer
IEC 47F/95/NP
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
DKE/K 631 - Halbleiterbauelemente
