Projekt
IEC 61010-2-xxx: Safety requirements for electrical equipment for measurement, control, and laboratory use - Part 2: Particular requirements for semiconductor manufacturing equipment
Beginn
2002-04-26
Geplante Dokumentnummer
IEC 66/288/NP
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
IEC/TC 66 - Sicherheit von Mess-, Steuer-, Regel- und Laborgeräten