Projekt
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 9: Prüfverfahren zur Festigkeit von Full-Wafer-Bondverbindungen in der Mikrosystemtechnik (MEMS)
Beginn
2008-11-28
Geplante Dokumentnummer
IEC 47F/31/CDV
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
DKE/K 631 - Halbleiterbauelemente