Norm
[AKTUELL]
BS EN 62047-2
BS EN 62047-2
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Pruefverfahren zur Zugbeanspruchung bei Duennschicht-Werkstoffen
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Tensile testing method of thin film materials