Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-3
; NF EN 62047-3:2006-11-01
NF C96-050-3
; NF EN 62047-3:2006-11-01
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: thin film standard test piece for tensile testing
