Norm
[AKTUELL]
DIN EN 62047-3
DIN EN 62047-3
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung (IEC 62047-3:2006); Deutsche Fassung EN 62047-3:2006
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006); German version EN 62047-3:2006
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
DKE/K 631 - Halbleiterbauelemente
