DIN EN 1071-4
Hochleistungskeramik - Verfahren zur Prüfung keramischer Schichten - Teil 4: Bestimmung der chemischen Zusammensetzung durch Elektronenstrahl-Mikrobereichsanalyse (ESMA); Deutsche Fassung EN 1071-4:2006
Advanced technical ceramics - Methods of test for ceramic coatings - Part 4: Determination of chemical composition by electron probe microanalysis (EPMA); German version EN 1071-4:2006
Einführungsbeitrag
Diese Norm wurde von der CEN/TC 184/WG 5 "Prüfung von keramischen Beschichtungen" erarbeitet, deren Sekretariat vom BSI (Großbritannien) gehalten wird.
Festgelegt sind Verfahren zur Analyse der chemischen Zusammensetzung keramischer Schichten mittels Elektronenstrahl-Mikrobereichsanalyse (ESMA) unter Verwendung eines Rasterelektronenmikroskops (REM) oder einer Elektronenstrahlmikrosonde. Sie sind anwendbar auf die Untersuchung von Monolagenschichten, wenn die Analyse senkrecht zur Oberfläche der Probe durchgeführt wird, gelten jedoch auch für die Analyse von gradierten und Mehrlagenschichten im Querschliff, sobald die Dickenmaße der einzelnen Lagen oder deren Gradierungsdistanzen größer sind als die größte räumliche Ausdehnung des zur charakteristischen und/oder Fluoreszenzröntgenstrahlung angeregten Stoffvolumens.
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN V ENV 1071-4:1995-11 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Der Inhalt wurde fachlich und redaktionell umfangreich überarbeitet.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-64 AA - Kohlenstoffschichten und keramische Hartstoffschichten