Norm
[AKTUELL]
BS ISO 17331+A1
BS ISO 17331+A1
Chemische Analytik an Oberflächen. Chemische Methoden für die Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumscheiben-Arbeits-Referenzmaterialien und deren Bestimmung mit Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)
Titel (englisch)
Surface chemical analysis. Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy