Norm
[AKTUELL]
ISO 17331
ISO 17331
Chemische Analytik an Oberflächen - Chemische Methoden für die Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumscheiben-Arbeits-Referenzmaterialien und deren Bestimmung mit Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
